它们通常是圆形的,比晶圆尺度稍大。常见的尺度规模从直径50毫米到超越300毫米。大多数卡盘具有圆形(同心)环真空规划,而且通常会夹持小管芯、部分晶片和整个晶片。
例如,150毫米(6英寸)卡盘将具有真空环图画,答应夹持单个芯片、50毫米、75毫米、100毫米和150毫米晶圆。
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